泛半導體鋁合金腔體法蘭解決方案（一）：鈦法蘭與鋁合金頸部組合方案

發布時間：2024-08-15 15:30:35 人氣：1382

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本文介紹采用鈦合金制造CF法蘭、鋁合金制造法蘭頸部的方案。鈦合金法蘭滿足硬度要求的同時，鋁合金頸部便于與鋁合金腔體進行焊接。由于鈦和鋁的磁性較弱，使用這兩種材料制成的組件是實現無磁性腔體的選擇。

鈦合金法蘭

麥迪森科技提供的鈦與鋁組合可旋轉法蘭，具有通孔和螺紋孔兩種形式，可通過螺絲固定，提供足夠的靈活性。此外，旋轉法蘭的外部零件可選其他形狀，以便在需要時使用鏈型夾具，從而縮短操作時間，這通常在輻射環境中尤為重要。

在高真空或超高真空環境中，使用鈦和鋁合金制成的組件具有以下優勢：

1.低漏氣率：鈦和鋁的漏氣速率均較低，這對于高真空和超高真空（UHV）系統至關重要。使用這些材料制成的組件可減少污染，維持更清潔的真空環境。

2.高強度與耐用性：鈦金屬具有優異的強度重量比和耐腐蝕性，能夠承受高真空環境中的應力和機械負載，是制造真空組件的理想選擇。

真空組件

3.兼容UHV環境：鈦金屬具有較低的蒸氣壓，并且與腔體內殘余氣體的反應性較小，因而能夠兼容UHV環境，這對于維持UHV系統的完整性尤為關鍵。

4.使用壽命長：與易放氣或腐蝕的材料相比，鈦制組件在高真空和UHV系統中的使用壽命更長。同時，鋁合金相比不銹鋼價格較低，長期使用下，鈦和鋁制組件的成本效益更高。

5.生物相容性：鈦的生物相容性在某些科學和醫學應用中非常有價值，可以用于在UHV環境中與生物材料相關的表面科學研究中。

鈦材料的先進表面工程

來源：https://doi.org/10.1016/j.bioactmat.2023.03.006

6.功能多樣性：鈦的功能多樣性使其在真空腔體、實驗裝置以及各種UHV研究設備領域中具有廣泛的應用。

鈦制真空腔體

此外，由鈦和鋁合金制造的法蘭系統可以直接裝配在鋁制腔體上，并可與市場上現有的所有CF密封圈兼容。

以上是北京麥迪森科技有限公司為您介紹的真空法蘭，如果您對上述鈦法蘭與鋁合金頸部組合方案感興趣，歡迎隨時與北京麥迪森科技聯系15301310116（微信同號）。

鈦法蘭與鋁合金頸部組合方案

泛半導體鋁合金腔體鋁合金腔體法蘭解決方案

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