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發(fā)布時(shí)間：2023-09-26 14:28:06 人氣：1307
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在操作真空閘閥時(shí)，避免氣體或固體顆粒的吸附和污染是非常重要的，特別是在高真空和超高真空環(huán)境下。以下是一些減少吸附和污染的方法：
凈化氣體源：確保使用純凈的氣體源，以減少在閘閥中引入雜質(zhì)的可能性。使用高純度氣體或者通過(guò)凈化系統(tǒng)來(lái)去除雜質(zhì)。
材料選擇：選擇與您的應(yīng)用相兼容的閥門材料，特別是閥體和密封部件。通常在高真空和超高真空環(huán)境中使用不銹鋼或其他低揮發(fā)性材料，以減少材料的揮發(fā)。
烘烤閥門：在真空系統(tǒng)開始工作之前，可以通過(guò)烘烤閥門來(lái)清除可能吸附在表面的氣體或雜質(zhì)。這可以通過(guò)升高閥門的溫度并進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的烘烤來(lái)實(shí)現(xiàn)。
清潔和維護(hù)：定期清潔和維護(hù)閥門以去除可能積聚在閥門內(nèi)部的顆粒或殘留物。這包括清除閥座、密封圈和密封面上的雜質(zhì)。
使用避免吸附的密封技術(shù)：在高真空和超高真空應(yīng)用中，采用特殊的金屬密封或焊接技術(shù)可以減少泄漏和防止氣體吸附。
氣室設(shè)計(jì)：確保氣室設(shè)計(jì)能夠降低氣體流動(dòng)的阻力，并減少顆粒的滯留。避免死角和盡量保持平滑表面以減少吸附的機(jī)會(huì)。
氣室清潔：定期檢查和清潔氣室內(nèi)部，以去除任何積聚的顆粒或污染物。
使用真空保護(hù)套：在不使用閘閥時(shí)，可以考慮使用真空保護(hù)套來(lái)遮蓋閥門口，以防止外部顆粒或污染物進(jìn)入。
使用避免氣體吸附的潤(rùn)滑劑：如果需要在閥門上使用潤(rùn)滑劑，請(qǐng)選擇專門設(shè)計(jì)用于高真空環(huán)境的低揮發(fā)性潤(rùn)滑劑。
以上就是北京麥迪森科技有限公司分享的真空閘閥操作過(guò)程中如何避免氣體或固體顆粒的吸附和污染。
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